Título: Surface modifications in diamond-like carbon films submitted to low-energy nitrogen ion bombardmentAutor: Dante Ferreira Franceschini FilhoAno: 2001Idioma: InglêsDOI: 10.1016/S0168-583X(00)00562-0Revista: Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section BBeam Interactions with Materials and Atoms (Print)ISSN: 0168583XTags: a-C:Hsputtering reativocoeficiente de atritoComposição Químicarugosidade
