Título: Influence of precursor gases on the structure of plasma deposited amorphous hydrogenated carbon nitrogen filmsAutor: Dante Ferreira Franceschini FilhoAno: 1996Idioma: InglêsDOI: 10.1063/1.116268Revista: Applied Physics LettersISSN: 36951Tags: Estruturanitreto de carbonoPECVDPropriedades Mecanicas