Título: Hard amorphous hydrogenated carbon-nitrogen films obtained by PECVD in methane-ammonia atmospheresAutor: Dante Ferreira Franceschini FilhoAno: 1996Idioma: InglêsDOI: 10.1016/0925-9635(96)80061-6Revista: Diamond and Related MaterialsISSN: 9259635Tags: Estruturanitreto de carbonoPECVDPropriedades Mecanicas