Título: Characterization of hard amorphous carbon films implanted with nitrogen ionsAutor: Dante Ferreira Franceschini FilhoAno: 1993Idioma: InglêsDOI: 10.1016/0168-583X(93)90821-MRevista: Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section BBeam Interactions with Materials and Atoms (Print)ISSN: 0168583XTags: carbono amorfoimplantação iônicanitreto de carbono amorfo
