Acoustic electromechanical energy loss mechanism for suspended micro- and nanoelectromechanical resonators

Título:

Autor:

Ano:

2010

Idioma:

Inglês

DOI:

10.1063/1.3428786

Revista:

ISSN:

36951

Home:

http://apl.aip.org/applab/v96/i19/p193504_s1